產品特點：
● 采用高精度花崗巖底座和立柱，確保機臺擁有的高穩定性和精確度；
● 采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置，確保工作臺回程誤差在2um以內；
● 采用高精度A級儀器光學尺配合精密工作臺，確保機臺精度在≤2.5+L/200um以內；
● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數字相機，確保畫質清晰無畸變；
● 采用程控式表面4環8區LED冷光源和透射LED平行光源，以及內置智能燈光調節模塊，可自由控制燈光在4環8區任何區域的亮度；
● 進口接觸式探針和功能強大的iMeasuring3.1三維影像測量軟件，提升品質管控到新的臺階；
● 可選FexQMS測量數據分析及和實時監控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。
● 采用高精度花崗巖底座和立柱，確保機臺擁有的高穩定性和精確度；
● 采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置，確保工作臺回程誤差在2um以內；
● 采用高精度A級儀器光學尺配合精密工作臺，確保機臺精度在≤2.5+L/200um以內；
● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數字相機，確保畫質清晰無畸變；
● 采用程控式表面4環8區LED冷光源和透射LED平行光源，以及內置智能燈光調節模塊，可自由控制燈光在4環8區任何區域的亮度；
● 進口接觸式探針和功能強大的iMeasuring3.1三維影像測量軟件，提升品質管控到新的臺階；
● 可選FexQMS測量數據分析及和實時監控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。
配置參數：
| 儀器型號 | iMS-3020P |
| 儀器貨號# | 521-160P |
| 金屬工作臺 | 458x358mm |
| 玻璃工作臺 | 356x248mm |
| X/Y軸行程 | 300x200mm |
| Z軸 | 高精度直線導軌，有效行程200mm |
| X/Y/Z軸分辨率 | 0.0005mm |
| X/Y軸精度 | ≤2.5+L/200(um) |
| 重復精度 | 2um |
| 底座和立柱 | 高精度濟南青花崗巖 |
| 照明系統（軟件調控） | 表面4環8區無級可調LED冷光源，每區可獨立調控 |
| 透射LED平行（面）光源 | |
| LED鐳射導航指示燈 | |
| CCD | 高分辨率7650TVL彩色CCD |
| 變焦物鏡 | 6.5X高分辨率定格定倍變焦物鏡 |
| 光學放大倍率：0.7X~4.5X倍；視頻放大倍率：26X~172X | |
| 工作環境 | 溫度：20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr |
| 濕度：30% ~80%RH | |
| 震動<0.002g，低于15Hz | |
| 測量軟件 | iMeasuring 3.1 |
| 操作系統 | 支持XP，WIN7，WIN8.1，WIN10，32/64位操作系統 |
| 操作語言 | 英文、簡體中文、繁體中文，可增加其他語言版本 |
| 外形尺寸(WxDxH) | 838x667x1000mm |
| 凈重 | 185Kg |