工具顯微鏡是一種測量用途非常廣泛的計量儀器，能夠精確測量各種工件的尺寸、角度、形狀和位置，以及螺紋零件的各種參數，因為其測量精度高，產品構造復雜，測量環境要求嚴格，所以，產品的日常維護和保養顯得非常重要，今天我們就探討一下工具顯微鏡的維護與保養要注意哪些方面。
1、除了做好工具顯微鏡儀器外表的整潔工作以外，要做好儀器金屬裸露表面的防銹、光學系統的防霉、防霧，即“三防”工作。
2、 儀器的金屬零件、為避免防銹，一般都要進行表面修飾(鍍鉻、噴漆等)，但某些精密件表面不能進行修飾，所以完全裸露在空氣中，如精密導軌、軸承、頂針等，這就要求必須對這些精密件進行日常的維護保養工作，以保持這些精密零件的清潔度，不會由于銹蝕而損壞儀器精度。
3、 在儀器操作使用中，操作者有時會用手指直接接觸金屬表面，由于手指表面水分含有鹽(氧化納)，而氧化納對金屬的表面金屬有破壞作用，會生成氧化鐵易溶解于水，從而導致表面金屬生銹。
4、工具顯微鏡使用環境不佳時，煙霧，灰塵會落在金屬表面，成為水分凝聚中心，而導致儀器生銹。所以，工具顯微鏡的使用環境要保證干凈，整潔，溫度、濕度在控制范圍內。
5、 使用含酸、堿、水分過高的防銹潤滑油脂，也會加速生銹過程。金屬表面的清潔工作可用120號以上的汽油作清洗劑，用紗布、綢布等進行擦拭，清洗的汽油必須擦干凈。因汽油易揮發，若汽油不擦拭干凈，待表面冷卻后，而凝聚“水珠”，從而引起表面銹蝕。
6、光學零件的清擦劑，一般要用無水純酒精，乙醚按比例混合而成，稱為酒乙混合劑。在恒溫室內，酒精與乙醚的比例為1：4，根據玻璃表面的污垢程度及光學件的類別可適當改變此比例;反光鏡表面因比較軟(鍍膜形式)，用純乙醚擦拭。單獨成組的光學系統，在不使用的時候可以放在干燥缸內，這樣也有利于該光學系統的防霉、防霧工作。